超純氣體

超純氣體的品種發展十分迅速，1981年單一超純氣體120多種，混合超純氣體12類約300多種。中國能生產單一超純氣體十多種，混合超純氣體幾十種。除表中所列主要品種外，單一超純氣體還有二氧化硫、一氧化碳、二氧化碳、乙烯、正丁烷、砷烷、丙二烯、順丁烯、丁二烯等。混合超純氣體為上述單一超純氣體的混合氣，分別有專門的用途，如純氬-氮混合氣用於電光源中鎢絲的還原,純氬-氖混合氣、氬-氦混合氣用於霓虹燈充氣等，還有不少超純混合氣體作為色譜、質譜和光譜分析中的標準氣。

超純氣體的製備大多是從工業氣體加以純化，有吸附法、吸收法、薄膜擴散法、電解法、生化法、輻射法、光解法、低温精餾法、催化法等。例如超純氫、氮、氦、氬，先通過空氣分離提取較純氣體，再經低温吸附得到超純氣體；粗氬也可以從合成氨弛放氣中提取；粗氪、氙從核裂變氣中提取，再經純化而得超純氣體。

對於超純氣體，任何微小的污染都會嚴重影響氣體的質量，因此氣體貯存和運輸過程中的潔淨和高度密封性特別重要。超純氣體主要採用高壓鋼瓶或低温液化氣體容器貯存和運輸。高壓鋼瓶堅實耐用，運輸和使用靈活，氣體無損耗，但氣體純度穩定性較差；低温液化氣體容器單位容積貯量很大，但有氣體排放損耗。