質量流量控制器

它的工作電源及流量顯示和設定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。

質量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用於對於氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔鍊，微反應裝置，混氣配氣系統，毛細管測量氣相色譜儀，光導纖維製造設備中。並廣泛用於石油化工。冶金，製藥等。特點：精度高，重複性好。

流量計一般分為以下幾種類型：

1. 容積式流量計，又稱定排量流量計。它利用機械測量元件把流體連續不斷的分割成單個已知的體積部分，根據測量室逐次重複的充滿和排放該體積部分流體的次數來測量流體體積流量。

2. 浮子式流量計，又稱轉子流量計，是變面積式流量計的一種，在一根由下向上擴大的垂直錐管中，圓形橫截面的浮子的重力是由液體動力承受的，從而使浮子可以在錐管中自由的上升和下降。

3. 差壓式流量計 ，是根據安裝於管道中流量檢測件產生的差壓，已知的流體的條件和檢測間與管道的尺寸來計算流量的儀表。

4. 渦街流量計，在流體中安放一根非流線型遊渦發生體，流體在發生體兩側交替的分離釋放出兩串規則地交錯排列的遊渦的儀表。

5. 渦輪流量計，是速度式流量計中的主要種類，它採用多葉片的轉子（渦輪）感受流體平均流速，從而推導出流量或總量的儀表。

6. 超聲流量計，通過檢測流體流動對超聲束（或超聲脈衝）的作用以測量流量的儀表。

7. 電磁流量計，電磁流量計是根據法拉第電磁感應定律製成的一種測量導電性液體的儀表。電磁流量計有一系列優良特性,可以解決其它流量計不易應用的問題,如髒污流、腐蝕流的測量。

8. 熱式流量計，熱式流量計傳感器包含兩個傳感元件，一個速度傳感器和一個温度傳感器。它們自動地補償和校正氣體温度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高於工況温度的某一個定值，使速度傳感器和測量工況温度的傳感器之間形成恆定温差。當保持温差不變時，電加熱消耗的能量，也可以説熱消散值，與流過氣體的質量流量成正比，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。

科里奧利式流量計，其原理是利用流體在振管內流動時產生的科氏力，以直接或間接地方法測量其力而得到流體質量流量。