設計規則

設計規則考慮器件在正常工作的條件下，根據實際工藝水平（包括光刻持性刻蝕能力、對準容差等）和成品率要求，給出的一組同一工藝層及不同工藝層之間幾何尺寸的限制。主要包括線寬、間距、覆蓋露頭、凹口、面積等規則，分別給出它們的最小值，以防止掩模圖形的斷裂、連接和一些不良物理效應的出現。 ^[1]