界面散射

散射機制

界面散射機制比較複雜。例如是由於表面粗糙不平整引起的散射過程，這時表面不是一個平面而是像一個被彎曲了的薄片，因此當電子沿表面運動時將受到干擾，使遷移率降低。這種散射作用對薄的表面空間電荷層較明顯，例如強反型層就屬於這種情況。