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表面分析
（1980年科學出版社出版的圖書）
鎖定
- 中文名
- 表面分析
- 作 者
- (日)染野檀、安盛巖雄
- 譯 者
- 鄭傳謀
- 出版時間
- 1980年12月
- 出版社
- 科學出版社
- 頁 數
- 262 頁
- ISBN
- 9787562822264
- 統一書號
- 13031.1366 [2]
表面分析圖書簡介
半導體器件的發展需要更深入地瞭解半導體等固體表面的物理、化學等性質．近年來已研究出一系列用於固體表面分析的手段，其中最有效的主要有離子探針顯微分析、俄歇電子能譜、X射線光電子能譜及紫外光電子能譜法．本書從實際應用的觀點出發，以取得最必要的表面資料為重點，具體敍述這些方法的基礎、測量方法及測量結果的分析方法，同時列舉主要應用實例，供從事金屬、半導體、催化及有關儀器製造等方面的科研和生產人員參考．
表面分析圖書目錄
- 目錄
- 序言
- 第一章 表面分析概論
- 第二章 離子探針顯微分析的基礎
- 第三章 離子探針顯微分析的應用
- 第四章 俄歇電子能譜的基礎
- 第五章 俄歇電子能譜的應用
- 第六章 光電子能譜的基礎
- 第七章 光電子能譜的應用
