螺旋波等離子體

定義 ： 用螺旋波激勵的等離子體稱螺旋波等離子體。

原理：

螺旋波是一種在磁化等離子體中傳播的電磁波。它沿磁場方向傳播，是圓偏振的，其迴旋方向與載流子在磁場中的迴旋方向相同。這種波使得磁力線發生擾動，變為螺旋形的線，故稱為螺旋波。螺旋波是色散的，其相速度及羣速度均與頻率的平方根成正比。用螺旋波激勵的等離子體稱螺旋波等離子體。實驗表明，螺旋波等離子體的最大密度在10Pa的壓強下可超過10cm，電離效率最高可達100%。

作用：

這種等離子體具有超常的電離效率，並且是通過外電極放電，因此特別適用於各種低氣壓等離子體工藝。研究表明，在所有可能在等離子體中傳播的波中，螺旋波具有最佳的相速度，使電子通過朗道吸收而被迅速地加熱到最佳電離能，從而產生最大的電離密度。

1.利用螺旋波等離子體增強化學氣相沉積氮化硅薄膜。

2.螺旋波高電離效率的特性很快得到了發展和應用，螺旋波激發等離子體源應運而生。作為一種新的低氣壓、高密度等離子體源，日本、美國、澳大利亞、韓國和瑞典等國都在對它進行研究。在這種裝置中，最突出的優點就是當螺旋波在等離子體中傳播時能使大面積的電子得到加熱，電子密度高而均勻，約束磁場低。