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蝕坑

鎖定
蝕坑，半導體硅材料表面的一種微缺陷。呈三角形。
中文名
蝕坑
類    別
專業名詞
相關領域
半導體硅
相關學科
生產工藝
相關
蝕坑
是硅拋光在-100度高温處理後，再用化學腐蝕在表面出現的高密度腐蝕坑，使光滑的表面變成霧狀，因此得名。