薄膜材料與薄膜技術

本書系統闡述了薄膜材料與薄膜技術的基本理論和基本知識,重點介紹了薄膜材料的真空製備技術、薄膜的化學和物理沉積方法、薄膜的形成和生長原理、薄膜的表徵、對目前廣泛研究和應用的幾種主要薄膜材料進行了介紹、評論和展望。

本書適合於從事材料研究的科研技術人員、相關專業的大專院校師生閲讀和參考,同時也可作為研究生教材使用。

第一章 真空技術基礎

第一節 真空的基本知識

第二節 真空的獲得

第三節 真空的測量

第二章 薄膜製備的化學方法

第一節 熱生長

第二節 化學氣相沉積

第三節 電鍍

第四節 化學鍍

第五節 陽極反應沉積法

第六節 LB技術

第三章 薄膜製備的物理方法

第一節 真空蒸發

第二節 濺射

第三節 離子束和離子助

第四節 處延膜沉積技術

第四章 薄膜的形成與生長

第一節 形核

第二節 生長過程

第三節 薄膜的生長模式

第四節 遠離...