薄膜式氣缸

薄膜式氣缸主要由缸體、活塞桿、膜片和膜盤等主要部件構成。

薄膜式氣缸有單作用式薄膜式氣缸和雙作用式薄膜式氣缸兩種。較於活塞式氣缸，薄膜式氣缸的結構緊湊簡單、製造容易、成本低、壽命長、泄露小、效率高；但是膜片的變形量有限，行程短。

薄膜式氣缸主要用在印刷（張力控制）、半導體（點焊機、芯片研磨）、自動化控制、機器人等領域。