良率

良率，亦稱“合格率”。產品質量指標之一，指合格品量佔全部加工品的百分率。在半導體工藝中，生產線良率表徵的是晶圓從下線到成功出廠的概率；晶圓良率表徵的是一片晶圓上的芯片合格率。生產線良率乘以晶圓良率就是總良率。 ^[1]