紫外光刻膠

一般是指分光感度波長為sao一450nin的近紫外抗蝕劑紫外光刻膠有負性、正性和止一負性兩用三類。負性的代表品種是聚乙烯醇肉桂酸醋、環化橡膠系抗蝕劑、止性代表品種是重氦茶釀系抗蝕劑，正負性抗蝕劑是為丁兼顧其既有.卜性又有負性的性能，往往會給全面照顧抗蝕劑應用上帶來一些難題，尚未商品化、

^[1]