納米真空互聯實驗站

“納米真空互聯實驗站”被稱為是“國家科技的基礎設施和科研平台”，“大科學裝置”，是尖端技術創新的重要源頭。

籌建中的“納米真空互聯實驗站”包括納米材料生長、器件製備、加工與測試等各功能模塊的真空互聯裝置及個性化用户站，計劃形成一個獨一無二的材料研究與器件研發環境，建成國際上首個真空互聯的納米科技公共實驗平台，並在5到10年內產出一批帶動產業深刻變革的重大研究成果，吸引和培養一批國際頂尖科研人員和工程技術人員，形成一批關鍵的核心技術、重大產品和尖端科學裝備。按照目標計劃，“納米真空互聯實驗站”將依託中科院蘇州納米技術與納米仿生研究所，由中科院與江蘇省、蘇州市共同建設，首期投入約15億元，建設規劃用地約150畝，其中先行啓動“室温超導和III-V族半導體激光器”、“3D打印”等分項，爭取3年建成。

未來，納米大科學裝置將吸引一大批高端人才集聚蘇州。藉助該平台，將能有效研究前沿科學問題，發明新技術，開發新產品，創辦新企業，使蘇州成為全球納米領域創新的高地、人才的高地和高端技術、產品及企業的發源地，有力推動蘇州經濟社會的發展和產業結構的優化升級。 ^[1] 

據介紹，“納米真空互聯實驗站”定位於探索麪向未來能源、信息領域的新型納米器件，目標是建立一個真空環境下從材料、器件、封裝到測試的綜合研究設施，提供多種極端條件下材料、結構和性能關係的科學研究平台，挑戰現有器件的物理極限、創新能源和信息領域核心器件的技術路線，旨在加深人們對物質世界微觀本質的認識，引發納米器件從基礎科學研究到大規模產業發展的工業革命。

納米真空互聯實驗站面向國家戰略需求和科學前沿重大問題，開創一條變革性的技術路線，將材料生長、器件工藝、測試分析通過超高真空管道有機互聯在一起，突破常規超潔淨環境下，獨立分散設備難以突破的材料本徵特性、原子級精準調控、表/界面調控和異質集成、器件原位製造等侷限，為國家戰略材料和前沿材料領域研究提供重要建制化、體系化大科學裝置的支撐。 ^[3] 

“納米真空互聯實驗站”依託中科院蘇州納米技術與納米仿生研究所，由中科院與江蘇省、蘇州市共同建設，首期投入約15億元，建設規劃用地約150畝，納米真空互聯實驗站包括納米材料生長、器件製備、加工與測試等各功能模塊的真空互聯裝置及個性化用户站，形成一個獨一無二的材料研究與器件研發環境。

實驗站建成後將申請納入國家大科學裝置體系，同時也將成為國際上首個真空互聯的納米科技公共實驗平台，通過吸引和培養一批國際頂尖科研人員和工程技術人員，形成一批關鍵的核心技術、重大產品和尖端科學裝備，產出一批帶動產業深刻變革的重大研究成果，促進蘇州市乃至江蘇省加快產業轉型、創新發展步伐。 ^[2] 

2014年4月開始，納米真空互聯實驗站分兩期建設。

2023年2月18日，中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所納米真空互聯實驗站二期建設項目順利通過總驗收。目前近40台各種大型工藝設備通過203米長的超高真空管道互聯，已建成材料製備與工藝、微觀機理準原位分析、跨尺度性能測試、氣氛可控和真空互聯控制與對接系統等五大模塊平台。 ^[3] 

自2019年試運行起，至2022年底，實驗站累計開展合作課題651個，服務用户數量220多家，逐步建立了以蘇州工業園區為中心，立足江蘇省，輻射長三角地區，延伸海內外的用户科研服務體系。 ^[3]