納米壓痕技術

傳統的硬度測試是將一特定形狀的壓頭用一個垂直的壓力壓入試樣，根據卸載後的壓痕照片獲得材料表面留下的壓痕半徑或對角線長度計算出壓痕面積。隨着現代微電子材料科學的發展，試樣規格越來越小型化，傳統的壓痕測量方法逐漸暴露出它的侷限性。一是這種方法僅僅能夠得到材料的塑性性質，另外這種測量方法只適用於較大尺寸的試樣。新興納米壓痕技術的產生很好解決了傳統測量的缺陷。納米壓痕技術也稱深度敏感壓痕技術，它通過計算機程序控制載荷發生連續變化，實時測量壓痕深度，由於施加的是超低載荷，監測傳感器具有優於1nm的位移分辨率，所以，可以達到小到納米級（0.1~100nm）的壓深，它特別適用於測量薄膜、塗層等超薄層材料力學性能，可以在納米尺度上測量材料的力學性質，如載荷-位移曲線、彈性模量、硬度、斷裂韌性、應變硬化效應、粘彈性或蠕變行為等。