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納米壓印
鎖定
納米壓印是一種用於工程與技術科學基礎學科領域的工藝試驗儀器，於2015年06月30日啓用。
- 中文名
- 納米壓印
- 產 地
- 瑞典
- 學科領域
- 工程與技術科學基礎學科
- 啓用日期
- 2015年06月30日
- 所屬類別
- 工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體集成電路工藝實驗設備
納米壓印技術指標
納米壓印主要功能
微納米尺度圖形結構的快速複製和轉移；具有高分辨率、高產量、低成本的優點；可輕易製作3D立體結構之微影刻蝕技術；高分子材料直接壓印成形，避免長時間或大範圍之刻蝕步驟；可簡單的製作出高深寬比的結構。此設備還採用了單面硬襯墊氣壓軟壓技術、IPS技術、STU技術，增加壓力均勻性，延長模板壽命延長，提升圖形分辨率。相關應用包括量子磁碟、生物傳感器微陣列、微流體通道、光子晶體、GaAs量子元件等。
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- 參考資料
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- 1. 納米壓印 ．國家科技基礎條件平台中心[引用日期2020-11-16]
