精密儀器設計

本教材是為測控技術與儀器專業的本科生設置的專業必修課《精密儀器設計》編寫的教材。教材共設8章，包括概論、儀器的精度理論、儀器的總體設計、光學系統、精密機械系統、電路系統設計、控制系統、精密儀器設計實例。主要介紹精密儀器的機械、光學和電子部分主要結構、基本原理和設計方法，並結合實例從光機電一體化的設計思想突出精密儀器的特點和設計方法。 ^[1] 

前言

**章精密儀器概論

**節概述

第二節精密儀器的重要性和展望

第三節精密儀器的設計要求和過程

作業與思考題

第二章儀器的精度理論

**節精度理論的基本概念

第二節誤差的處理和評定

第三節儀器的精度分析

第四節儀器的精度設計

作業與思考題

第三章精密儀器總體設計

**節總體設計的相關基礎

第二節總體設計內容

第三節 總體設計舉例

作業與思考題

第四章機械系統設計

**節機構設計基礎

第二節機械傳動機構設計

第三節導向機構設計

第四節微位移機構設計

作業與思考題

第五章光學系統設計

**節概述 一

第二節光學基本理論

第三節典型光學元件及成像理論

第四節典型光學系統

作業與思考題 一

第六章伺服系統設計

**節概述

第二節開環伺服控制系統設計

第三節 閉環伺服控制系統設計

作業與思考題

?第七章 電路系統設計

**節 電路系統組成與設計要求

第二節 電路系統硬件設計

第三節 電路系統軟件設計

第四節 電路系統抗干擾及可靠性設計

作業與思考題

第八章。精密儀器設計實例

**節激光干涉測長儀設計

第二節便攜式近紅外光譜儀器設計

作業與思考題

實驗部分

實驗一測量顯微鏡結構分析設計

實驗二精密工作台控制系統設計

實驗三精密工作台控制計算機系統設計

實驗四單色儀光柵掃描計算機控制系統設計

參考文獻 ^[1]