電感耦合等離子體焰炬

當在感應線圈上施加高頻電場時，由於某種原因（如電火花等）在等離子體工作氣體中部分電離產生的帶電粒子在高頻交變電磁場的作用下做高速運動，碰撞氣體原子，使之迅速、大量電離，形成雪崩式放電，電離的氣體在垂直於磁場方向的截面上形成閉合環形的渦流，在感應線圈內形成相當於變壓器的次級線圈並同相當於初級線圈的感應線圈耦合，這種高頻感應電流產生的高温又將氣體加熱、電離，並在管口形成一個火炬狀的穩定的等離子體焰矩。

其特點如下：

（1）工作温度高、同時工作氣體為惰性氣體，因此原子化條件良好，有利於難熔化合物的分解及元素的激發，對大多數元素有很高的靈敏度。

（2）由於趨膚效應的存在，穩定性高，自吸現象小，測定的線性範圍寬。

（3）由於電子密度高，所以鹼金屬的電離引起的干擾較小。

（4）ICP屬無極放電，不存在電極污染現象。

（5）ICP的載氣流速較低，有利於試樣在中央通道中充分激發，而且耗樣量也較少。

（6）採用惰性氣體作工作氣體，因而光譜背景干擾少。