空腔

2023年4月，萊布尼茨大學光子研究所所長邁克爾·庫斯團隊藉助“混合技術”，將磷化銦製成的激光器、濾波器和氮化硅製成的空腔結合在一起，並將它們集成到了一塊芯片上。