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磁控濺射鍍膜機

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磁控濺射鍍膜機是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器,於2011年03月26日啓用。
中文名
磁控濺射鍍膜機
產    地
美國
學科領域
材料科學
啓用日期
2011年03月26日
所屬類別
工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備

磁控濺射鍍膜機技術指標

1.配裝3支Ф2英寸的磁控濺射靶,其中一支可鍍鐵磁材料。2.磁控濺射靶射頻(RF)、直流(DC)兼容。3.每隻磁控濺射靶均配備擋板,基片配擋板。4.極限真空:5*10-5Pa;工作背景真空:7*10-4Pa.5.基片尺寸≤Ф4英寸。6.基片可加熱至500℃.7.控制系統:PC+PLC全自動控制。 [1] 

磁控濺射鍍膜機主要功能

磁濺射鍍膜機是一種普適鍍膜機,用於各種單層膜、多層膜和摻雜膜系。可鍍各種硬質膜、金屬膜、合金、化合物、半導體、陶瓷膜、介質複合膜和其他化學反應膜,亦可鍍鐵磁材料。主要用於實驗室製備有機光電器件的金屬電極及介電層,以及製備用於生長納米材料的催化劑薄膜層。 [1] 
參考資料