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碳酰氟
鎖定
碳酰氟，又名羰基氟、氟光氣，是一種化學物質，化學式為COF2，主要用作半導體制造裝置的清洗氣和刻蝕氣，也可用作有機合成的中間體、氟化劑，作為半導體制造裝置用的清洗氣需要高純度的COF2。
- 中文名
- 碳酰氟
- 外文名
- Carbonic difluoride
- 別 名
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氟光氣
羰基氟 - 化學式
- COF2
- 分子量
- 66.007
- CAS登錄號
- 353-50-4
- 熔 點
- -114 ℃
- 沸 點
- -84 ℃
- 危險性描述
- R8；R23/24/25；R34
碳酰氟理化性質
密度：1.244g/cm3
熔點：-114ºC
沸點：-84ºC
碳酰氟計算化學數據
疏水參數計算參考值（XlogP）：0.8
氫鍵供體數量：0
氫鍵受體數量：3
可旋轉化學鍵數量：0
互變異構體數量：0
拓撲分子極性表面積：17.1
重原子數量：4
表面電荷：0
複雜度：29
同位素原子數量：0
確定原子立構中心數量：0
不確定原子立構中心數量：0
確定化學鍵立構中心數量：0
不確定化學鍵立構中心數量：0
碳酰氟用途
主要用作半導體制造裝置的清洗氣和刻蝕氣，也可用作有機合成的中間體、氟化劑，作為半導體制造裝置用的清洗氣需要高純度的COF2。
- 參考資料
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- 1. 碳酰氟 ．化學+[引用日期2022-06-02]
