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碳化硅器件高温活化爐
鎖定
碳化硅器件高温活化爐是由德國Centrotherm thermal solutions生產的高温爐。
- 中文名
- 碳化硅器件高温活化爐
- 生產廠商
- 德國Centrotherm thermal solutions
碳化硅器件高温活化爐簡介
Activator 150用於SiC或GaN器件注入後退火,獨特工藝爐管和加熱系統設計允許工藝温度可達1950 ℃. Centrotherm最新研發SiC工藝爐管用以滿足新興的150毫米SiC襯底工藝。
Activator 150-5 是為研發工作而定製的;Activator 150-50 專為大批量生產而設計,為了縮短生產週期Activator 150-50採用機械手自動傳片系統。
碳化硅器件高温活化爐性能優勢
· 高活化效率 · 最小表面粗糙度
· 最大温度可達 1950 ℃
· 佔地少 [1.8 m2]
· 升温速率可達 100 K/min
· 批處理包括 2″,3″, 4", 6"
· 批處理數量達到 40 片硅片[2″], 50 片硅片 [6"]
· 真空度小於10-3 mbar [可選]
· 可並排安裝石墨烯生長
碳化硅器件高温活化爐典型應用
· 注入後高温退火
· [3C, 4H, 6H器件,傳感器]
· GaN 退火· 大面積石墨烯形成
- 參考資料
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- 1. Activator 150 .www.centrotherm-pv.de[引用日期2013-02-04]
- 2. Activator150 .www.eiitech.net[引用日期2013-01-31]
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