硅鍺合金

硅鍺合金是由硅和鍺兩種元素構成的合金。結構式Si1－xGex，x=0～1。硅和鍺同為第14族元素並都是非常重要的硅基微電子材料，其晶態結構都是金剛石結構，都具有間接帶隙，所不同的是晶胞參數和能帶結構，以及一些本徵性能。可構成任何組分的均勻固熔體。硅和鍺的晶格失配度為4.18%，在硅上外延硅-鍺合金會引進應變，晶格弛豫後會引進位錯，故常採用組分遞變的方法來改善晶體質量。是一種間接帶隙半導體材料，0≤x≤0.85時為類硅材料，0.85≤x≤1時為類鍺材料。禁帶寬度在0.74～1.15電子伏間變化，折射率在3.55～4.13間變化。 ^[1]