硅基薄膜太陽電池

材料結構上包括非晶硅、微晶硅，電池結構上包括非晶硅單結、非晶硅/非晶硅雙結疊層、非晶硅/微晶硅雙結疊層電池，也包括以硅為基礎的各種合金材料和電池，例如非晶硅鍺電池等。

非晶硅太陽電池（a-Si）

非晶硅是由化學氣相沉積的方法制備的，在真空室內通入硅烷（SiH4）和氫氣（H2），通過等離子放電使氣體分解，然後沉積在200度左右的玻璃或塑料、不鏽鋼等襯底上形成非晶硅薄膜。

特點

非晶硅薄膜由於原子排列不整齊，而且存在許多硅的懸鍵，因此缺陷態非常多，使得載流子遷移率較低，製備的器件效率也較低。

非晶硅太陽電池存在光劣化效應，電池效率存在較嚴重的衰退，一般情況下初始效率衰退20-25%才能達到穩定。

非晶硅疊層太陽電池（a-Si/a-Si）

製備兩個pin結，形成pin/pin這樣的雙層結構，兩個pin結串聯在一起，而每一個結的非晶硅薄膜可以相對的減薄，提高電子空穴的收集效率、電池的穩定性。而兩個pin結又可以起到充分吸收陽光的作用。

雙結非晶/非晶硅薄膜電池比單結電池一般具有較高的效率和穩定性。

微晶硅太陽電池(uc-Si)

通過改變沉積參數來改變沉積材料的結構，VHF-PECVD來獲得微晶硅薄膜較高速率的沉積效果，

具有較好的結構有序性、沒有衰退效應、載流子遷移率相對較高，具備晶體硅的穩定性、高效性和非晶硅的低温製備特性等低成本優點。

缺點：是吸收係數比較低，需要比較厚的吸收層。

非晶硅/微晶硅疊層太陽電池

是把非晶硅pin結和微晶硅pin結串聯在一起，形成疊層電池結構。

這種電池同時具有非晶硅和微晶硅兩種材料的優點，既具有高效率有具有高穩定性。