真空技術裝備國家工程實驗室

為以潔淨真空技術為基礎的先進真空技術裝備發展提供共性技術創新的中間實驗驗證平台；成為實現應用基礎研究與產業化有機銜接的橋樑和紐帶。

建立工程實驗室，將在國家層面上構建真空技術裝備的技術創新和技術支撐體系，為集成電路、生物醫藥、高性能材料、重大科學裝置等重點產業發展提供支撐和服務，併為真空產業發展提供具有自主知識產權的長期的技術保障，滿足我國真空產業的長期發展以及國家戰略需求。

通過建立超高真空、低噪聲、低污染的潔淨真空技術平台（包括真空獲得技術與應用實驗平台、真空應用實驗與驗證平台、真空密封技術與應用實驗平台3個專用子平台和1個公共平台），解決潔淨真空獲得、潔淨真空部件製備、潔淨真空密封等關鍵共性技術，滿足重點產業需求，使我國在真空領域有能力參與國際競爭。通過真空應用技術的突破，推進高端真空應用設備水平跨越2—3代。

工程實驗室實行理事會領導下的實驗室主任負責制，首屆理事會理事單位包括：遼寧省發改委、瀋陽市發改委、中科院計劃財務局、中科院高技術局、中科院瀋陽科學儀器研製中心有限公司、北京中科科儀技術發展有限責任公司、中國科技大學、東北大學、瀋陽真空技術所、北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限公司。

工程實驗室下設運營管理部、知識產權辦公室、標準化辦公室以及項目組。實驗室擁有一支實力雄厚、結構合理、具有國際影響的研究隊伍。項目將實施創新、開放、共贏的產學研長效合作機制，加快突破重點產業發展的瓶頸制約。