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相變存儲器
(科學出版社2010年版圖書)
鎖定
《相變存儲器》是科學出版社2010年出版的圖書,作者是宋志棠。
相變存儲器內容簡介
本書依託國家“863”、“973”等項目,圍繞PCRAM研發所涉及的基礎科學與關鍵技術問題,對PCRAM的基本原理、PCRAM所用的材料體系、新型相變材料的理論與方法、PCRAM的關鍵單項工藝與集成工藝、器件單元結構改進、PCRAM所涉及的器件結構與芯片模擬、測試、芯片設計與製造等方面進行了較為詳細的階段性工作總結。
本書適合材料、微電子等相關專業的研究生、科技人員和教學人員使用。
相變存儲器圖書目錄
前言
第1章 緒論
第2章 Ge<sub>2</sub>Sb<sub>2</sub>Te<sub>5</sub>相變材料及其改性
第3章 新型相變材料
第4章 相變存儲單元製備及關鍵工藝
第5章 相變存儲器模擬
第6章 新結構相變存儲單元
第7章 相變存儲器測試