盧瑟福背散射譜學

盧瑟福背散射譜學（RutherfordBackscatteringSpectrometry，RBS），有時候被稱為高能離子散射譜學（High-Energy Ion Scattering，HEIS），是一種是一種離子束分析技術，被用在材料科學中，用以分析、測量材料的結構和組成。