異質外延

異質外延是一個物理學名詞。外延生長的薄膜材料和襯底材料不同，或者説生長化學組分、甚至是物理結構和襯底完全不同的外延層，相應的工藝就叫做異質外延；這類工藝複雜、成本較低。