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異丁基鍺烷
鎖定
異丁基鍺烷(IBGe,化學式:(CH3)2CHCH2GeH3)是一種有機鍺化合物。
- 中文名
- 異丁基鍺烷
- 外文名
- IBGe
- 化學式
- (CH3)2CHCH2GeH3
- 外 觀
- 無色不穩定的液體
- 應 用
- 用於形成沉積的鍺薄膜和含鍺的半導體薄膜(例如鍺化硅)
它是一種無色不穩定的液體,用於有機金屬化學氣相沉積法。在張力硅的應用中,異丁基鍺烷用於形成沉積的鍺薄膜和含鍺的半導體薄膜(例如鍺化硅)。它還用於製備NANDFlash中的GeSbTe。
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