界面態

界面態是指硅-二氧化硅界面處而能值位於硅禁帶中的一些分立或連續的電子能級或能帶。它們可在很短的時間內和襯底半導體交換電荷，故又稱快界面態。稱為快表面態的原因是為了和由吸附於二氧化硅外表面的分子/原子等所引起的外表面態加以區分。