甲基三乙氧基硅烷

密度：0.895g/cm³

沸點：141-143℃

折射率：1.383（20℃）

蒸汽壓：6.38mmHg at 25°C

外觀：無色液體 ^[1] 

疏水參數計算參考值（XlogP）：無

氫鍵供體數量：0

氫鍵受體數量：3

可旋轉化學鍵數量：6

互變異構體數量：0

拓撲分子極性表面積：27.7

重原子數量：11

表面電荷：0

複雜度：80.7

同位素原子數量：0

確定原子立構中心數量：0

不確定原子立構中心數量：0

確定化學鍵立構中心數量：0

不確定化學鍵立構中心數量：0

共價鍵單元數量：1 ^[1] 

1、皮膚/眼睛刺激性

標準的Draize試驗：兔子，皮膚接觸：500mg/24h，反應的嚴重程度：輕度。

標準的Draize試驗：兔子，眼睛接觸：100μL，反應的嚴重程度：輕度。

2、急性毒性

大鼠經口LD₅₀：8570μL/kg

大鼠經吸入LCLo：4000ppm/8h

兔子經皮膚接觸LD₅₀：13300μL/kg ^[1] 

主要用作RTV單組份硅橡膠交聯劑，也是製備硅樹脂原料，還可處理各種無機填料。

疏散泄漏污染區人員至安全區，禁止無關人員進入污染區，切斷火源。應急處理人員戴好防毒面具，穿一般消防防護服。在確保安全情況下堵漏。用砂土、蛭石或其他惰性材料吸收，然後懼要運至廢物處理場所。也可以用為燃性分散劑製成的乳液刷洗，經稀釋的洗液放入廢水系統。如大量泄漏，利用圍堤收容，然後收集、轉移、回收或無害處理後廢棄。

呼吸系統防護：可能接觸其蒸氣時，應該佩戴防毒面具。緊急事態搶救或撤離時，建議佩戴自給式呼吸器。

眼睛防護：戴化學安全防護眼鏡。

防護服：穿防靜電工作服。

手防護：戴防化學品手套。

其他：工作現場嚴禁吸煙。工作後，淋浴更衣。注意個人清潔衞生。

皮膚接觸：脱去污染的衣着，用肥皂水及清水徹底沖洗。

眼睛接觸：立即翻開上下眼瞼，用流動清水沖洗15分鐘。就醫。

吸入：脱離現場至空氣新鮮處。呼吸困難時給輸氧。呼吸停止時，立即進行人工呼吸。就醫。

食入：誤服者給飲足量温水，催吐，就醫。

S16：Keep away from sources of ignition - No smoking.

遠離火源，禁止吸煙。

R10：Flammable.

易燃的。