熱預算

熱預算，工藝中硅曝露需要的熱能。半導體工藝的目標之一是儘量降低硅需要的熱能。決定大多數硅基半導體工藝條件的一個因素是通過降温或者減少時間，使熱預算最小化。 ^[1]