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熱解氮化硼
鎖定
氮化硼的六角型小雪片，一片一片的平行地落在石墨基體材料上，達到一定厚度後，最終冷卻脱模而製成。
- 中文名
- 熱解氮化硼
- 外文名
- PBN
- 類 型
- 特種陶瓷材料
- 沉積過程
- 宛如“落雪”
熱解氮化硼主要特點
材料呈白色，無毒、無孔隙、易加工。
純度高達99.99%，表面緻密，氣密性好。
耐高温，強度隨温度升高，2200℃達到最大值。
耐酸、鹼、鹽及有機試劑，高温與絕大多數熔融金屬、半導體等材料不浸潤、不反應。
抗熱震性好，熱導性好，熱膨脹係數低。
電阻高，介電強度高，介電常數小，磁損耗角正切低，並具有良好的透微波和紅外線性能。
在力學、熱學、電學等等性能上有着明顯的各向異性。
熱解氮化硼具體應用
半導體單晶及III－V族化合物合成用的坩堝、基座：
原位合成GaAs、InP、GaP單晶的LEC系列坩堝。
分子束外延用的MBE系列坩堝。
VGF、VB法系列坩堝。
PBN/PG複合加熱器塗層。
石墨加熱器絕緣塗層。
高温絕緣流體噴嘴。
MOCVD絕緣板。
異形坩堝及異形石墨件塗層。
晶片退火工藝用複合加熱器。
熱解氮化硼基本參數
■規格： | - | - |
類 型 | 類 別 | 最 大 尺 寸 |
坩堝類 | LEC | 8 inch |
- | VGF | 8 inch |
MBE | 8 inch | |
異形坩堝 | - | |
板材類 | 圓形板材 | 8 inch |
- | 長舟 | 8 inch |
絕緣板(MOCVD) | 8 inch | |
- | - | |
塗層類 | 蒸發舟 | |
- | 石墨加熱器 | |
PBN/PG複合加熱器 |
■主要參數: | - | - | - |
性能 | 單位 | 數值 | |
晶格常數 | µm | a:2.504×10-10 c:6.692×10-10 | |
表觀密度 | g/cm3 | 2.10－2.15(板材) 2.15－2.19(坩鍋) | |
氦透過率 | cm3/s | 1×10－10 | |
顯微硬度(Knoop)(ab平面) | N/mm2 | 691.88 | |
體積電阻係數 | Ω·cm | 3.11×1011 | |
抗張強度 (力|| “C”) | N/mm2 | 153.86 | |
抗彎強度 | (力|| “C”) | N/mm2 | 243.63 |
- | (力⊥ “C”) | N/mm2 | 197.76 |
彈性模量 | - | N/mm2 | 235690 |
熱傳導率 | - | W/m·k | “a”方向 “c”方向 |
- | (200℃) | W/m·k | 60 2.60 |
- | (900℃) | W/m·k | 43.70 2.80 |
介電強度(室温) | KV/mm | 56 | - |
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