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熱化學氣相沉積
鎖定
熱化學氣相沉積是2011年公佈的材料科學技術名詞。
- 中文名稱
- 熱化學氣相沉積
- 英文名稱
- thermal chemical vapor deposition
- 定 義
- 在800~2000℃的高温反應區，利用電阻加熱，高頻感應加熱和輻射加熱的化學氣相沉積。
- 應用學科
- 材料科學技術（一級學科），材料科學技術基礎（二級學科），材料合成、製備與加工（三級學科），薄膜製備技術（四級學科）
以上內容由全國科學技術名詞審定委員會審定公佈
熱化學氣相沉積定義
在800~2000℃的高温反應區，利用電阻加熱，高頻感應加熱和輻射加熱的化學氣相沉積。
熱化學氣相沉積出處
《材料科學技術名詞》。
- 參考資料
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- 1. 熱化學氣相沉積 ．術語在線[引用日期2023-01-10]
