熒光產額

當光電效應引起內層電子發射，電子躍遷並輻射能量時，並不一定產生特徵X射線，還可能產生俄歇效應，用ω表示。若在q能級上單位時間內被激發的原子數為Nq而單位時間內發射X射線熒光的原子數為Nq,f ,則q能級的熒光產額ωq表示為：

ωq=(Nq,f)/Nq

若q殼層具有多個支殼層，或同一殼層空位可能被多個高能級電子填充而發射幾種能量的X熒光，則Nq,f表示他們的總和。

考慮到X射線輻射的機制，輻射幾率與原子序數Z的關係以及電子屏蔽效應，在芬克(W.R.Fink)提出的半經驗公式中可以認識到，較低的原子序數Z的元素，熒光產額較低。這是由於輕元素核電荷數少，電子結合比較鬆弛，L、M層電子容易吸收原子本身電子躍遷產生的能量而發射俄歇電子；同時，輕元素Lab與K系譜線能量較為接近，因而吸收K系譜線，發射俄歇電子的幾率也比較高。

圖1為原子序數為5 £ Z £ 110的K和L殼層的熒光產額 ，其中 L 殼層曲線代表 L₁, L₂, and L₃的一個平均。