瀋陽芯源微電子設備有限公司

瀋陽芯源微電子設備有限公司成立於2002年，由中科院瀋陽自動化研究所引進國外先進技術投資創建，致力於研發製造高端半導體生產設備並提供相關服務，為客户提供專業、精良的設備和創新性的工藝解決方案。芯源公司佔地2萬平方米，擁有員工180人，技術人員佔70%，擁有高等級淨化廠房、現代化辦公環境和開拓進取的技術團隊，已通過質量、環境、職業健康安全管理體系認證，產品已通過半導體行業SEMI-S2認證。

芯源公司自主開發的單片勻膠機、顯影機、噴膠機、去膠機、清洗機、濕法刻蝕機等設備廣泛應用於半導體、先進封裝、MEMS、LED等領域。

1.LED領域勻膠顯影機：應用於LED芯片製造、PSS（圖形化襯底）、MEMS、HCPV（高聚光型太陽能電池）、Waveguide（光波導）工藝的勻膠顯影等工藝製程。

2.高端封裝全自動塗膠顯影機:廣泛應用於先進封裝BGA、Flip-Chip、WSP、CSP製程的高黏度PR、PI、Epoxy的塗敷、顯影工藝製程。

3.高端封裝全自動噴霧式塗膠機: 廣泛應用於TSV、MEMS、WLP等工藝製程。

4.單片濕法刻蝕機/去膠機/清洗機:廣泛應用於先進封裝BGA、Flip-Chip、WSP、CSP製程的刻蝕、去膠、清洗工藝製程。

5.前道堆疊式全自動塗膠顯影機：應用於90nm光刻工藝、BARC塗覆、SOC、SOD、SOG等工藝製程.

2019年6月，入選工業和信息化部第一批專精特新“小巨人”企業名單。 ^[1]