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濺射離子泵

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濺射離子泵（sputter ion pump）是2013年公佈的機械工程名詞。 [1] 
中文名
濺射離子泵
外文名
sputter ion pump
外文名
SIP
所屬學科
機械工程
公佈時間
2013年

目錄

  1. 1 定義
  2. 2 出處

濺射離子泵定義

泵內被電離的氣體輸運到由陰極連續濺射所獲得的吸氣劑上的一種吸氣劑離子泵。

濺射離子泵出處

《機械工程名詞 第五分冊》。 [1] 
參考資料