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濺射清洗
鎖定
濺射清洗是2011年公佈的材料科學技術名詞。
- 中文名稱
- 濺射清洗
- 英文名稱
- sputtering cleaning
- 定 義
- 利用離子轟擊濺射作用，對材料表面進行清潔處理的過程。
- 應用學科
- 材料科學技術（一級學科），材料科學技術基礎（二級學科），材料合成、製備與加工（三級學科），表面改性和塗層技術（四級學科）
以上內容由全國科學技術名詞審定委員會審定公佈
濺射清洗定義
利用離子轟擊濺射作用，對材料表面進行清潔處理的過程。
濺射清洗出處
《材料科學技術名詞》。
- 參考資料
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- 1. 濺射清洗 ．術語在線[引用日期2023-01-10]
