- 中文名称
- 溅射清洗
- 英文名称
- sputtering cleaning
- 定 义
- 利用离子轰击溅射作用，对材料表面进行清洁处理的过程。
- 应用学科
- 材料科学技术（一级学科），材料科学技术基础（二级学科），材料合成、制备与加工（三级学科），表面改性和涂层技术（四级学科）
以上内容由全国科学技术名词审定委员会审定公布
- 中文名
- 溅射清洗
- 外文名
- sputtering cleaning
- 所属学科
- 材料科学技术 [1]
- 公布年度
- 2011年
定义
播报编辑
利用离子轰击溅射作用，对材料表面进行清洁处理的过程。
出处
播报编辑
《材料科学技术名词》。
