濕敏電容

濕敏電容的主要優點是靈敏度高、產品互換性好、響應速度快、濕度的滯後量小、便於製造、容易實現小型化和集成化，其精度一般比濕敏電阻要低一些。國外生產濕敏電容的主廠家有Humirel公司、Philips公司、Siemens公司等。以Humirel公司生產的SH1100型濕敏電容為例，其測量範圍是（1%～99%）RH，在55%RH時的電容量為180pF（典型值）。當相對濕度從0變化到100%時，電容量的變化範圍是163pF～202pF。温度係數為0.04pF/℃，濕度滯後量為±1.5%，響應時間為5s。

除電阻式、電容式濕敏元件之外，還有電解質離子型濕敏元件、重量型濕敏元件（利用感濕膜重量的變化來改變振盪頻率）、光強型濕敏元件、聲表面波濕敏元件等。濕敏元件的線性度及抗污染性差，在檢測環境濕度時，濕敏元件要長期暴露在待測環境中，很容易被污染而影響其測量精度及長期穩定性。

電容式濕度傳感器在測量過程中，就相當於一個微小電容，對於電容的測量，主要是測量其電容值C。濕度傳感器並不是一個純電容，它的等效形式見下圖虛線部分所示，相當於一個電容和一個電阻的並聯 ^[1]  。

下圖是電容式濕度傳感器複數電壓法測量的具體測量電路，包括三個部分：微分電路、反相電路和積分電路 ^[1]  。

正弦波發生器產生的正弦信號Vin經過微分電路後，信號變成Vout，然後將Vout的輸出分成兩路，一路直接經電子開關1K直接進入積分電路，另一路先經過反相電路，使Vout的輸出為Vout，經過電子開關2K後，也同樣進入積分電路。電子開關1K、2K的作用是將Vout信號進行整流，然後經過積分電路進行測量 ^[1]  。

利用上述方法測量濕敏電容的值，測量範圍在30pF~100pF之間，測量的相對誤差可達±0.2% ^[1]  。