反饋

激光調阻

為了提高厚膜電路的精度，必須進行阻值調整。由於厚膜絲網印刷操作固有的不準確性，基板表面的不均勻及燒結條件的不重複性，厚膜電阻常出現正負誤差，如果阻值超過標稱值將無法修正，但是，一般情況下印刷燒成後阻值低於目標值的大約30%，所以要通過激光調整達到目標值。

激光調阻定義

激光調阻系統及修調技術機理

激光修調是把一束聚焦的相干光在微機的控制下定位到工件上，使工件待調部分的膜層氣化切除以達到規定參數或阻值。調阻時局部温升使玻璃熔化，氣化部分阻值槽邊緣受到玻璃覆蓋，可填平基體表面被切割的介質。

先進的激光修調系統應用了大量的LSI、VLSI電路，以大部分的軟件操作代替許多硬件功能。核心部分是通過硬件直接與激光器、光束定位、分步重複及測量等系統相連接。測量系統由採用精密電橋和矩陣組合的無源網絡組成。

先進的激光修調系統具有多種修調功能，可以修調混合集成電路、厚薄膜電阻器網絡、電容網絡、瓷基薄膜集成元件，還可以修調D/A和A/D轉換器的精度，V/F轉換器的頻率，有源濾波器的零點頻率及運算放大器的失調電壓等。同時還具有IEEE488接口，可與其他測試設備進行數據傳輸。

先進的激光修調系統主要包括以下幾個部分：

（1）激光器部分

採用氪激勵的高頻Q開關、Nd:YAG激光器，厚膜修調最小光斑達38μm，脈衝重複頻率為500Hz～50kHz。

（2）光束定位系統

分為線性馬達式、開環和閉環檢流計式等。控制光束在X和Y方向的位置、速度和加速度。縮短光束定位時間和修調時間，工作效率高。

（3）程控衰減系統

由多個衰減器組成，以控制在衰減後用於光束遊動並進入紅外相機的輸出信號。

（4）修調設定器

它直接與激光器、光束定位器、分步重複台及測量系統相聯接。它可以通過程序改變Q頻率、刻蝕尺寸和改變切割的修調方向，決定阻值變化，而不影響精度。另外，還具有自動校正功能，在長期工作時可使修調設定值保持穩定。

（5）阻值及電壓測定裝置

採用精密電橋和矩陣組合的測試無源網絡，阻值測量精度可達0.02%，測量時間僅為5ms。這種設計可以防止外界干擾，且由於採用差動測量，自動消除偏離及極性轉換，還可用來測定有源電路修調時的直流電壓。

（6）自動功率測量系統

激光器功率測量是利用最低限度的中斷通過測量來測定。用微機控制螺形管驅動系統，激光束通過衰減器內的100%反射鏡，射向熱電偶器件，然後送到1個多量程功率計。

切割圖形

激光調阻時，被切割的電阻體圖形主要有以下幾種：

（1）單刀切割電阻法

（2）雙刀切割電阻法

（3）L型刀口切割電阻法

（4）交叉對切電阻法

（5）曲線型L刀口的切法

（6）曲線型U型刀口的切法

在實際工作中，主要應用的是前4種，對於不同的電阻應根據其方數的不同選擇不同的刀口。其中雙切和L型刀口最為常用，而且調過的阻值穩定性好。

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