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激光系統

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激光系統是一種用於化學工程領域的工藝試驗儀器,於2013年11月04日啓用。
中文名
激光系統
產    地
德國
學科領域
化學工程
啓用日期
2013年11月04日
所屬類別
工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備

激光系統技術指標

提供400mJ的沉積能量,平均能量50Hz,27kV。 [1] 

激光系統主要功能

為PLD濺射提供能量。 [1] 
參考資料