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激光氣相沉積
鎖定
激光氣相沉積是2011年公佈的材料科學技術名詞。
- 中文名稱
- 激光氣相沉積
- 英文名稱
- laser vapor deposition
- 定 義
- 激光照射靶材或反應氣體,使其氣化為原子態,隨後氣態原子沉積到基材表面形成薄膜的工藝。
- 應用學科
- 材料科學技術(一級學科),材料科學技術基礎(二級學科),材料合成、製備與加工(三級學科),表面改性和塗層技術(四級學科)
以上內容由全國科學技術名詞審定委員會審定公佈
激光氣相沉積定義
激光照射靶材或反應氣體,使其氣化為原子態,隨後氣態原子沉積到基材表面形成薄膜的工藝。
激光氣相沉積出處
《材料科學技術名詞》。
- 參考資料
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- 1. 激光氣相沉積 .術語在線[引用日期2023-01-10]