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激光掃描顯微鏡
鎖定
激光掃描顯微鏡是一種用於材料科學領域的物理性能測試儀器，於2014年11月25日啓用。
- 中文名
- 激光掃描顯微鏡
- 產 地
- 日本
- 學科領域
- 材料科學
- 啓用日期
- 2014年11月25日
- 所屬類別
- 物理性能測試儀器
激光掃描顯微鏡技術指標
1、測試功能：PROFIEL 形貌測量（精度）、線粗糙度和麪粗糙度測量、磨耗對比測量等。Z向測量顯示分辨率0.5nm；重複精度：0.012um；X向測量顯示分辨率1nm，重複精度：0.02um；測量高度範圍：0—7mm 2、掃描速度：面掃描：4-120Hz，線掃描：7900Hz 3、圖像分辨率：130nm。
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激光掃描顯微鏡主要功能
- 參考資料
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- 1. 激光掃描顯微鏡 ．國家科技基礎條件平台中心[引用日期2020-11-07]
