激光平面干涉儀

激光平面干涉儀工作時對防震要求一般。如配購相關的必要附件，可精密測量光學平板的微小楔角、光學材料折射率n的均勻性，光學鍍膜面或金屬塊規表面的平面度，90o稜角的直角誤差及角錐稜鏡單角和綜合誤差。