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激光劃片機

鎖定
激光劃片是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射區域局部熔化、氣化、從而達到劃片的目的。
中文名
激光劃片機
用    途
劃片和切割金屬材料及硅、鍺、砷化鎵和其他半導體襯底材料

激光劃片機原理

因激光是經專用光學系統聚焦後成為一個非常小的光點,能量密度高,因其加工是非接觸式的,對工件本身無機械衝壓力,工件不易變形。熱影響極小,劃精度高,廣泛應用於太陽能電池板、薄金屬片的切割和劃片。

激光劃片機應用領域

激光劃片機主要用於金屬材料及硅、鍺、砷化鎵和其他半導體襯底材料劃片和切割,可加工太陽能電池板、硅片、陶瓷片、鋁箔片等,工件精細美觀,切邊光滑。採用連續泵浦聲光調Q的Nd:YAG激光器作為工作光源,由計算機控制二維工作台,能按輸入的圖形做各種運動。輸出功率大,劃片精度高,速度快,可進行曲線及直線圖形切割。
激光劃片機一般分為這幾類:YAG激光劃片機、半導體激光劃片機、光纖激光劃片機…… [1] 

激光劃片機分類特點應用

激光劃片機光纖激光

激光劃片機 激光劃片機
產品特點
·高配置:採用進口光纖激光器,光束質量更好(標準基模)、切縫更細(30μm)、邊緣更平整光滑。
·免維護:整機採用國際標準模塊化設計,真正免維護、不間斷連續運行、無消耗性易損件更換。
·操作方便:設備集成風冷設置,設備體積更小,操作更簡單。
·專用控制軟件:專為激光劃片機而設計的控制軟件,操作簡單,能實時顯示劃片路徑。
·工作效率高:T型台雙工位交替運行,提高工作效率.最大劃片速度可達200mm/s。
應用及市場
太陽能行業單晶硅、多晶硅、非晶硅帶太陽能電池片和硅片的劃片(切割、切片)。

激光劃片機半導體激光

產品特點
高配置:採用進口新型半導體材料,大大提高電光轉換效率。
運行穩定:全封閉光路設計,光釺傳輸,確保激光器長期連續穩定運行,對環境適應能力更強。整機採取國際標準模塊化設計,結構合理,安裝維護更方便簡潔。
高效率:低電流、高效率。工作電流小,速度快(達220mm/s)基本做到免維護,無材料損耗,零故障率,運行成本更低。
應用及市場
太陽能行業單晶硅、多晶硅、非晶硅帶太陽能電池片和硅片的劃片(切割、切片)。

激光劃片機YAG激光

產品特點
高端配置:核心部件(聚光腔)採用進口新型材料,大大提高電光轉換效率,·激光器採用新一代的金屬鍍金聚光腔,避免脱金,更耐用。
專業控制軟件:操控軟件根據行業特點專門設計,人機界面友好,操作方便,·劃片軌跡顯示,便於劃片路徑的設計、更改、監測。
運行成本低:工作電流小(小於11A),速度快(達140mm/s)延長氪燈使用壽命,減少維護,減少材料損耗,降低故障率,降低運行成本。
人性化設計:獨有提示功能,確保易損件及時更換。
應用及市場
太陽能行業單晶硅、多晶硅、非晶硅帶太陽能電池片和硅片的劃片(切割、切片)。
電子行業單晶硅和多晶硅硅片的分離切割。

激光劃片機發展狀況

2000年武漢三工光電設備製造有限公司首台激光劃片機問世,可以完全替代進口
2007年華工激光自行研發成功具有自主知識產權的晶圓紫外激光劃片機。
2008年LED紫外激光劃片機由華工激光研發成功。
參考資料