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測試片
鎖定
測試片是用於加工工藝檢測、區域和加工潔淨度檢測的硅片。等級比機械測試片高，比正片低。
- 中文名稱
- 測試片
- 英文名稱
- test wafer
- 定 義
- 用於加工工藝檢測、區域和加工潔淨度檢測的硅片。等級比機械測試片高，比正片低。
- 應用學科
- 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），元素半導體材料（三級學科）
以上內容由全國科學技術名詞審定委員會審定公佈
- 中文名
- 測試片
- 性 質
- 材料科學技術術語
- 詞條統計
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