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https://baike.baidu.hk/item/淺溝道隔離/20408632
淺溝道隔離
鎖定
淺溝道隔離(Shallow Trench Isolation)是一種常用在傳統CMOS硅工藝中隔離器件的
工藝技術
。
中文名
淺溝道隔離
外文名
Shallow Trench Isolation
別 名
STI
相 關
LOCOS
圖集
淺溝道隔離的概述圖(1張)
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歷史版本
最近更新:
mkfan8628
(2023-12-04)
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