深能級瞬態譜

深能級瞬態譜能檢測半導體中微量雜質、缺陷的深能級及界面態。通過深能級瞬態譜儀對樣品的温度掃描，可以給出表徵半導體禁帶範圍內的雜質、缺陷深能級及界面態隨温度（即能量）分佈的DLTS譜。