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沈天慧
鎖定
- 中文名
- 沈天慧
- 國 籍
- 中國
- 出生地
- 浙江嘉善
- 出生日期
- 1923年4月27日
- 逝世日期
- 2011年1月2日
- 畢業院校
- 上海大同大學
- 職 業
- 教育科研工作者
- 主要成就
- 1980年當選為中國科學院學部委員（院士）
沈天慧人物生平
沈天慧
1945年，進入上海大同大學化工系就讀。
1954年，被選派到中科院瀋陽金屬研究所工作。
1957年，被派往蘇聯莫斯科冶金研究所進修半導體硅和化合物半導體的研製。
1966年，調到中科院156工程處（北京）。
1970年，遷至陝西臨潼縣航天工業部771研究所。
沈天慧主要成就
沈天慧科研成就
- 科研綜述
沈天慧
- 學術論著
沈天慧最早論文發表是1988年在微電子學與計算機（期刊）上的VLSI工藝技術——五、超微細加工一文。截至2004年在微電子學與計算機、微細加工技術、上海交通大學學報等期刊上共發文14篇，其部分論著如下：
[9]
[1]沈天慧.化學在集成電路中的作用[J].化學通報,1984（10）:3-4.
[2]汪師俊,蔡琪玉,沈天慧.光化學氣相澱積氮化硅的工藝及其應用研究——（Ⅰ）光化學氣相澱積氧化硅的工藝研究[J].微電子學與計算機,1993（02）:46-48.
[3]汪師俊,蔡琪玉,沈天慧.光化學氣相澱積氮化硅的工藝及其應用研究——Ⅱ光化學氣相澱積氮化硅膜的性質[J].微電子學與計算機,1993（03）:47-51.
[4]汪師俊,蔡琪玉,沈天慧.光化學氣相澱積氮化硅的工藝及其應用研究——（Ⅲ）光CVD氮化硅薄膜應用於提高器件可靠性[J].微電子學與計算機,1993（09）:3-5.
[5]沈天慧,李積和,何蓮萍,陳青松,汪師俊.用多晶硅吸雜和SiO_2背封工藝提高硅片質量[J].微電子學與計算機,1997（02）:17-19.
[6]鎳鈦合金形狀記憶薄膜的化學刻蝕[J]. 丁桂甫,徐東,趙小林,張壽柏,蔡炳初,沈天慧. 微細加工技術. 1999（03）.
[7]微機電系統中的材料和加工[J]. 張壽柏,丁桂甫,郭曉芸,沈天慧. 上海有色金屬. 2000（03）.
[8]CVD金剛石薄膜RIE掩模技術研究[J]. 丁桂甫,俞愛斌,趙小林,姚翔,沈天慧. 微細加工技術. 2001（03）.
- 科研獲獎
沈天慧榮譽表彰
時間 | 榮譽表彰 |
1980年 | |
2006年 | |
2009年 | |
2009年 |
沈天慧社會任職
上海交通大學學術委員會委員 | |
上海交通大學材料與化工研究院顧問 | |
微納米加工技術重點實驗室學術委員會主任 | |
航天部科技委員會委員 | |
宇航學會第一屆理事 | |
沈天慧個人生活
- 家庭背景
- 婚姻家庭
沈天慧人物評價
- 參考資料
-
- 1. 沈天慧 ． 上海交通大學檔案館（黨史校史研究室）[引用日期2020-02-03]
- 2. 丹心永留的沈天慧院士 ．中國科學院．2011-02-28[引用日期2019-03-24]
- 3. 半導體化學家沈天慧院士逝世---- ．中國科學院[引用日期2022-03-17]
- 4. 化學部-沈天慧 ．-中國科學院院士院士館[引用日期2022-03-17]
- 5. 半導體化學家沈天慧院士逝世---- ．中國科學院[引用日期2022-03-17]
- 6. 沈天慧-- ．上海交通大學檔案館[引用日期2022-03-17]
- 7. 沈天慧教授--- ．上海交通大學[引用日期2022-03-17]
- 8. 沈天慧--- ．中國科學報社[引用日期2022-03-17]
- 9. 沈天慧-- ．中國工程科技研究機構與專家庫[引用日期2022-03-17]
- 10. 沈天慧-- ．中國知網[引用日期2022-03-17]
- 11. 沈天慧-- ．西安微電子技術研究所[引用日期2022-03-17]
- 12. 馬德秀書記前往沈天慧院士家中弔唁-- ．上海交通大學[引用日期2022-03-17]
- 13. 首屆徐光啓科技榮譽獎章頒發---- ．上海交通大學[引用日期2022-03-17]
- 14. 獲評新中國60年上海百名優秀女教師--- ．上海交通大學[引用日期2022-03-17]
- 15. 當選新中國60年上海百位突出貢獻女性--- ．上海交通大學[引用日期2022-03-17]
- 16. 沈天慧：科學的酸甜苦樂---- ．中國科學院[引用日期2022-03-17]
- 17. 宇航學會第一次全國會員代表大會-- ．中國宇航學會[引用日期2022-03-22]
- 18. 沈天慧-- ．中國科學院[引用日期2022-03-29]
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