氯氫化

該技術具有以下優點：裝置單一、投資小、佔地少；反應温度低、操作穩定；對原料純度要求低，多晶硅生產過程中副產的二氯硅烷可與四氯化硅發生反歧化反應生成三氯氫硅；轉化率高、能耗低，每生產1噸三氯氫硅耗電850～1000千瓦時。

氯氫化技術成功地將多晶硅生產過程中副產的四氯化硅、氯化氫、二氯硅烷轉化為三氯氫硅，實現了多晶硅生產的密閉循環，避免了污染物排放，是一種理想的生產技術。