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氮化鋁材料
鎖定
氮化鋁材料（aluminium nitride material）有陶瓷型和薄膜型兩種。
- 中文名
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氮化鋁材料
- 外文名
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aluminium nitride material
氮化鋁熱導率高、絕緣性能好，電阻率高達4×106Ω·cm。熱膨脹係數小(2.65～3.80)×10-6K-1，化學性能穩定，在1000℃時才與空氣發生氧化。在真空中可穩定到1500℃。緻密型氮化鋁是抗水的，幾乎不與濃無機酸發生反應。密度為3.26g/cm3，熔點2400℃，彈性模量為300～310GPa，抗彎強度為280～350MPa，莫氏硬度為8。A1N陶瓷用粉末冶金法制得。氮化鋁薄膜用反應濺射法制得。A1N陶瓷片用於大功率半導體集成電路和大功率的厚膜電路，A1N薄膜用於薄膜器件的介質和耐磨、耐熱、散熱好的材料表面鍍層。
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- 參考資料
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