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氣體輸運系統
鎖定
氣體輸運系統是2011年公佈的材料科學技術名詞。
- 中文名稱
- 氣體輸運系統
- 英文名稱
- gas handling system
- 定 義
- 在化學氣相沉積或外延生長系統中，向反應室提供原料氣體的管路系統。
- 應用學科
- 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），半導體材料製備（三級學科）
以上內容由全國科學技術名詞審定委員會審定公佈
氣體輸運系統定義
在化學氣相沉積或外延生長系統中，向反應室提供原料氣體的管路系統。
氣體輸運系統出處
《材料科學技術名詞》。
- 參考資料
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- 1. 氣體輸運系統 ．術語在線[引用日期2022-12-29]
